-
详细信息
1.采用2D+3D混合测量方式(2D光源确定锡膏平面,3D计算体积)
2.可以测量低于35微米的物体,如:绿油、丝印、焊盘的高度和体积
3.高度分辨率为0.4微米
4.高度测量精度为±1微米
5.体积重复精度为±1%@3σ
6.体积GR&R为3.63%(OPPO实测)
7.扫描间距为1微米
8.Z小可测量300 x 300μm的锡膏
9.线性马达驱动,线性光栅尺定位
10.控制系统免保养
11.运行无振动,保障测试精度
12.运行速度快
13.X、Y轴定位精度高,达±5um@3