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    1.采用2D+3D混合测量方式(2D光源确定锡膏平面,3D计算体积)

    2.可以测量低于35微米的物体,如:绿油、丝印、焊盘的高度和体积

    3.高度分辨率为0.4微米

    4.高度测量精度为±1微米

    5.体积重复精度为±1%@3σ

    6.体积GR&R为3.63%(OPPO实测)

    7.扫描间距为1微米

    8.Z小可测量300 x 300μm的锡膏

    9.线性马达驱动,线性光栅尺定位

    10.控制系统免保养

    11.运行无振动,保障测试精度

    12.运行速度快

    13.X、Y轴定位精度高,达±5um@3

     

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